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陶瓷真空吸盘
陶瓷机械零件
光电类零组件
半导体产品
产品详细
产品名称：
VC-03
发布日期：
2017-04-12
点击数：
2475
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二维码：
简述：
产品详情
陶瓷真空吸盘
晶圆夹持系统的作用不仅包括在加工中带动晶圆运作，还要将加工所需要的工作载荷作用在晶圆上，并保证晶圆在加工载荷的作用下不会发生翘曲变形。因此晶圆夹持系统的性能对提高最终晶圆产品的质量有重要意义。目前在晶圆夹持系统中使用最广泛的方法是利用真空负压来吸附工件，『真空吸盘』具有高效率、无污染、定位精度高等优良特性。
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