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陶瓷真空吸盤
晶圓夾持系統的作用不僅包括在加工中帶動晶圓運作，還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上，並保證晶圓在加工載荷的作用下不會發生翹曲變形。因此晶圓夾持系統的性能對提高最終晶圓產品的品質有重要意義。目前在晶圓夾持系統中使用最廣泛的方法是利用真空負壓來吸附工件，『真空吸盤』具有高效率、無汙染、定位精度高等優良特性。